AvaSoft-Thinfilm 薄膜测量软件

AvaSoft-Thinfilm软件是个独立的软件包，与AvaThinfilm薄膜测量系统相配套。AvaThinfilm系统在应用章节里有详细介绍。

AvaSoft-Thinfilm应用软件通过已知光学参数的透光膜层的反射形成的干涉光谱来计算该膜层的厚度。

AvaSoft-Thinfilm应用软件采用了两种计算薄膜厚度的方法：快速傅立叶变换（FFT）和最佳拟合优化算法（光谱匹配）。FFT方法主要是判定干涉图形的频率，这种方法常用于膜层厚度较厚的膜层测量。而光谱匹配优化算法是判定各种厚度的膜层的最佳拟合，拟合参数可以用来监控拟合质量，加快数据处理速度。

软件集成了一个包括各种基底和膜层的光学参数n和k值的数据库，数据库中还包括一些重要应用领域的产品，如半导及其膜层的参数。

AvaSoft-Thinfilm软件支持多通道和8个时间序列控制，可以用来测量膜层厚度和监控拟合质量。

AvaSoft-Thinfilm软件可以和AvaSoft-PROC过程控制软件和AvaSoft-XLS输出到Excel应用软件配合使用，方便地进行在线分析和控制。