|
|
|
|
|
|
薄膜测量装置 |
|
薄膜测量系统是基于白光干涉的原理来确定光学薄膜的厚度。可以通过对白光干涉图样进行数学运算计算出薄膜厚度。对于单一类型的膜层来说，如果已知薄膜的n和k值就可以计算出它的物理厚度。
AvaSoft-Thinfilm薄膜测量软件内包含有一个大部分常用材料和膜层的n值和k值的数据库。
AvaSoft-Thinfilm膜厚测量系统可以测量的膜层厚度从10nm到50μm，分辨率可达1nm。
薄膜测量广泛应用于半导体晶圆工业，此时需要监控等离子刻蚀和沉积过程。还可以用于其它需要测量在金属和玻璃基底上镀制透明膜层的领域。
AvaSoft-Thinfilm应用软件能够在线实时监控膜层厚度，并且可以与其他AvaSoft应用软件如输出到Excel软件和过程控制软件一起使用。 Thinfilm-standard是3个标定过的已知不同厚度的镀SiO2膜层的硅片，可以用来验证仪器的测量结果的准确性。
薄膜厚度测量的典型装置如左图所示。
| 光谱仪 | AvaSpec- 2048 光谱仪， UA 光栅 (200-1100nm),DCL-UV/VIS, 100μm 狭缝 , DUV 镀膜 , OSC |
| 测量膜厚范围 | 10 nm- 50 μm, 1nm 分辨率 |
| 软件 | AvaSoft-Thinfilm 薄膜测量软件 |
| 光源 | AvaLight-DHc 紧凑式 氘 - 卤钨灯 |
| 光纤探头 | FCR-7UV200-2-ME 反射型探头， UV/VIS 谱段 , 2 米 长 , SMA 接头 |
| 附件 | 薄膜测量支架，用于固定反射探头 Thinfilm-standard ， 3 个标定过的已知不同厚度的镀 SiO2 膜层的硅片 |
Avantes China新网站——光纤光谱仪，微型光谱仪，近红外光谱仪权威制造商
Last Updated: 22-08-06
